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发明名称 DEVICE FOR THE STABILIZATION OF AN ARC BETWEEN AN ANODE AND A CATHODE
摘要
申请公布号 EP0277341(A3) 申请公布日期 1989.12.13
申请号 EP19870118982 申请日期 1987.12.21
申请人 BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 BUHL, RAINER, DR.;HASLER, CHRISTOPH
分类号 C23C14/22;C23C14/24;H01J37/32;H05H1/50;(IPC1-7):H01J37/32;C23C14/30 主分类号 C23C14/22
代理机构 代理人
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