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发明名称 CATHODE FOR MAGNETRON SPUTTERING
摘要
申请公布号 EP0242826(A3) 申请公布日期 1989.12.13
申请号 EP19870105743 申请日期 1987.04.16
申请人 DOS SANTOS PEREIRA RIBEIRO, CARLOS ANTONIO, DIPL.-ING. 发明人 DOS SANTOS PEREIRA RIBEIRO, CARLOS ANTONIO, DIPL.-ING.
分类号 H01J37/34;(IPC1-7):H01J37/34 主分类号 H01J37/34
代理机构 代理人
主权项
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