钼片回收新方法

摘要

本发明是用于回收半导体功率器件研制和生产中的报废管芯的钼片。 该新回收方法的技术关键就在于：经反复实验研究出的二种化学腐蚀液及其配方。使用这两种化学腐蚀液可以很方便地除去铝硅钼合金，从而得到各性能指标均可与新钼片相匹敌的回收钼片，使得大量的废旧管芯之钼片得以“起死回生”。使用此法可获得极大的经济效益和社会效益。

主权项

1、一种适用于回收半导体功率器件生产中的废旧管芯的钼片新方法其特征是：用去离子水、氢氟酸和过氧化氢配制的Ⅰ号腐蚀液和用氢氧化钠、过氧化氢配制的Ⅱ号腐蚀液腐蚀去除钼片上的铝硅钼合金。