发明名称 |
PRODUCTION OF FILMY SUPERCONDUCTOR |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH01308809(A) |
申请公布日期 |
1989.12.13 |
申请号 |
JP19880139750 |
申请日期 |
1988.06.06 |
申请人 |
MITSUBISHI METAL CORP |
发明人 |
HAGINO SADAAKI;UCHIDA HIROTO;SAKURAI TAKESHI |
分类号 |
C01B13/20;C01G1/00;C01G3/00;C01G29/00;C23C16/40;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/24 |
主分类号 |
C01B13/20 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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