| 发明名称 |
SPUTTER TARGET AND GLOW DISCHARGE COATING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0051635(B1) |
申请公布日期 |
1989.12.13 |
| 申请号 |
EP19810901255 |
申请日期 |
1981.04.22 |
| 申请人 |
VARIAN ASSOCIATES, INC. |
发明人 |
LAMONT, JR., LAWRENCE TURNER |
| 分类号 |
C23C14/34;C23C14/35;H01J37/34 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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