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发明名称 PROCESS FOR PREPARING NEGATIVE RELIEF IMAGES
摘要
申请公布号 EP0192078(B1) 申请公布日期 1989.12.13
申请号 EP19860100926 申请日期 1986.01.24
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 HULT, ANDERS;ITO, HIROSHI;MACDONALD, SCOTT ARTHUR;WILLSON, CARLTON GRANT
分类号 H01L21/30;G03F7/20;G03F7/26;G03F7/38;H01L21/027;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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