| 发明名称 |
Method of making terminated microwafers |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3322655(A) |
申请公布日期 |
1967.05.30 |
| 申请号 |
US19630301422 |
申请日期 |
1963.08.12 |
| 申请人 |
UNITED AIRCRAFT CORPORATION |
发明人 |
GARIBOTTI DOMENICK J.;OLSON KALMAR O.;TAYLOR JAMES E. |
| 分类号 |
C23C14/04;C23C14/50;H01L49/02;H05K3/14;H05K3/40 |
主分类号 |
C23C14/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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