| 发明名称 |
PROCEDE ET APPAREIL DE TRAITEMENT D'OBJETS AU MOYEN D'UN FAISCEAU D'ELECTRONS CONVERGE EN LIGNE FINE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
FR2497999(B1) |
申请公布日期 |
1989.12.08 |
| 申请号 |
FR19820000402 |
申请日期 |
1982.01.12 |
| 申请人 |
ENERGY SCIENCES INC |
发明人 |
A. STUART DENHOLM, WILLIAM A. FRUTIGER ET KENNETH E. WILLIAMS;FRUTIGER WILLIAM A;WILLIAMS KENNETH E |
| 分类号 |
H01L21/20;G21K5/02;H01J37/063;H01J37/30;H01L21/263;(IPC1-7):G21K5/10;H01L21/02 |
主分类号 |
H01L21/20 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
