发明名称 HEAT TREATMENT FURNACE FOR SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 JPH01305514(A) 申请公布日期 1989.12.08
申请号 JP19880137723 申请日期 1988.06.03
申请人 NEC CORP 发明人 NATORI HIROYUKI
分类号 H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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