发明名称 Process for introducing profiled patterns (profile patterns) onto or into surfaces whose cross-sections are parts of a circle (semicircle) or another geometrical figure, by using the single-stage or multi-stage photo-etching technique (ProMus process)
摘要 Published without abstract.
申请公布号 DE3818800(A1) 申请公布日期 1989.12.07
申请号 DE19883818800 申请日期 1988.06.03
申请人 LICHOTKA, HERMANN, DIPL.-ING. (FH), 7802 MERZHAUSEN, DE 发明人 LICHOTKA, HERMANN, DIPL.-ING. (FH), 7802 MERZHAUSEN, DE
分类号 C23F1/02;G02B6/28;G02B6/36;G02B6/38;G03F7/00;H01P11/00;H05K3/06 主分类号 C23F1/02
代理机构 代理人
主权项
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