发明名称 INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH01303748(A) 申请公布日期 1989.12.07
申请号 JP19880134882 申请日期 1988.05.31
申请人 YAMAHA CORP 发明人 HOTTA MASAHIKO
分类号 H01L21/768;H01L21/8238;H01L27/08;H01L27/092 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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