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发明名称 REACTIVE ION ETCHING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH01302726(A) 申请公布日期 1989.12.06
申请号 JP19880292518 申请日期 1988.11.21
申请人 JAPAN SYNTHETIC RUBBER CO LTD 发明人 YAMADA KEIICHI;KOSHIBA MITSUNOBU;KAWAMURA SHINICHI;FURUWATA YUUJI;HARITA YOSHIYUKI
分类号 H01L21/302;H01J37/32;H01L21/3065;H01L21/683 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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