| 发明名称 |
Gas inlet and discharge attachment for the gas-phase processing of workpieces |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2219311(A) |
申请公布日期 |
1989.12.06 |
| 申请号 |
GB19890010236 |
申请日期 |
1989.05.04 |
| 申请人 |
* VEB ELEKTROMAT DRESDEN |
发明人 |
SIEGFRIED * MENZEL;WOLFRAM * PAUL;RAINER * MOLLER;DIETMAR * RESCH;IRIS * ELSNER |
| 分类号 |
B01J4/00;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/50;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31 |
主分类号 |
B01J4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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