发明名称 DIELECTRIC ISOLATION SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH01302740(A) 申请公布日期 1989.12.06
申请号 JP19880132303 申请日期 1988.05.30
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 FURUKAWA KAZUYOSHI;FUKUDA KIYOSHI;TANZAWA KATSUJIRO
分类号 H01L21/762;H01L21/02;H01L21/306;H01L21/76;H01L27/12 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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