发明名称 FORMATION OF THIN GAN-TYPE FILM
摘要
申请公布号 JPH01301850(A) 申请公布日期 1989.12.06
申请号 JP19890016178 申请日期 1989.01.27
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KIDO FUSAKICHI
分类号 H05B33/10;C23C14/06;H05B33/12;H05B33/14 主分类号 H05B33/10
代理机构 代理人
主权项
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