| 发明名称 |
PROBE CARD AND MEASUREMENT OF PART TO BE MEASURED USING THE SAME |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH01302171(A) |
申请公布日期 |
1989.12.06 |
| 申请号 |
JP19880133399 |
申请日期 |
1988.05.31 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
YOSHIZAWA TETSUO;KONDO HIROSHI;SAKAKI TAKASHI;IMAIZUMI MASAAKI;NISHIDA HIDEYUKI;ICHIDA YASUTERU;KONISHI MASAKI |
| 分类号 |
G01R31/26;G01R1/073;G01R31/28;H01L21/66 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
