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发明名称 DISCHARGING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01302645(A) 申请公布日期 1989.12.06
申请号 JP19880071161 申请日期 1988.03.25
申请人 ANELVA CORP 发明人 ASAMAKI TATSUO;HOSOKAWA NAOKICHI;KIN KIYOUSHIYOKU;NAKAGAWA KOJIN;KOBAYASHI TSUKASA;SEKIGUCHI ATSUSHI;TAKAGI SHINJI
分类号 H01J27/08;H01J37/08;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01J27/08
代理机构 代理人
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