| 发明名称 |
A NOVEL POSITIVE-WORKING PHOTORESIST COMPOSITION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2190090(B) |
申请公布日期 |
1989.12.06 |
| 申请号 |
GB19870010397 |
申请日期 |
1987.05.01 |
| 申请人 |
* TOKYO OHKA KOGYO CO LTD |
发明人 |
SHINGO * ASAUMI;HIDEKATSU * KOHARA;HATSUYUKI * TANAKA;MASANORI * MIYABE;TOSHIMASA * NAKAYAMA |
| 分类号 |
G03C1/72;C08G8/12;C08G8/24;C08K5/43;C08L61/08;G03F7/023;G03F7/025;G03F7/22;H01L21/027 |
主分类号 |
G03C1/72 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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