发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01302839(A) 申请公布日期 1989.12.06
申请号 JP19880133362 申请日期 1988.05.31
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 TAKEDA SATOSHI
分类号 H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
地址
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