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经营范围
发明名称
FORMATION OF SEMICONDUCTOR THIN FILM
摘要
申请公布号
JPH01302716(A)
申请公布日期
1989.12.06
申请号
JP19880132106
申请日期
1988.05.30
申请人
SONY CORP
发明人
MORI YOSHIFUMI
分类号
H01L21/20;H01L21/84
主分类号
H01L21/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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