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发明名称 VACUUM TREATMENT EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH01301853(A) 申请公布日期 1989.12.06
申请号 JP19880131344 申请日期 1988.05.31
申请人 HITACHI LTD 发明人 TANAKA SHIGERU
分类号 C23C14/22;C23C14/56;C23C16/54 主分类号 C23C14/22
代理机构 代理人
主权项
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