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发明名称 FOCUSING MAGNETRON SPUTTERING APPARATUS
摘要
申请公布号 EP0127272(B1) 申请公布日期 1989.12.06
申请号 EP19840301651 申请日期 1984.03.12
申请人 MATERIALS RESEARCH CORPORATION 发明人 CLASS, WALTER H.;HIERONYMI, ROBERT G.;HURWITT, STEVEN D.
分类号 C23C14/36;C23C14/35;H01J37/34 主分类号 C23C14/36
代理机构 代理人
主权项
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