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发明名称 N-TYPE DOPING RAW MATERIAL FOR III-V COMPOUND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH01301591(A) 申请公布日期 1989.12.05
申请号 JP19880133470 申请日期 1988.05.30
申请人 NEC CORP 发明人 FURUKAWA AKIO
分类号 C30B23/08;C30B29/40;H01L21/203 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
主权项
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