发明名称 PART POSITIONING METHOD AND MECHANISM
摘要
申请公布号 JPH01301022(A) 申请公布日期 1989.12.05
申请号 JP19880128353 申请日期 1988.05.27
申请人 HITACHI LTD;HITACHI YONEZAWA ELECTRON CO LTD 发明人 YOKOYAMA SHIYOUICHI
分类号 B23P19/00;H01L21/66;H01L23/00;H01L23/32;H05K13/04 主分类号 B23P19/00
代理机构 代理人
主权项
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