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经营范围
发明名称
PATTERN FORMATION
摘要
申请公布号
JPH01300520(A)
申请公布日期
1989.12.05
申请号
JP19880130412
申请日期
1988.05.30
申请人
OKI ELECTRIC IND CO LTD
发明人
KAWAZU TAKAHARU;KAWAZU YOSHIYUKI;JINBO HIDEYUKI;TO YOICHI
分类号
H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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