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发明名称 SEMICONDUCTOR ACCELERATION SENSOR
摘要
申请公布号 JPH01301176(A) 申请公布日期 1989.12.05
申请号 JP19880133074 申请日期 1988.05.30
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TSUGAI MASAHIRO;BESSHO MIKIO;HASE YUJI
分类号 G01P15/12 主分类号 G01P15/12
代理机构 代理人
主权项
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