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发明名称 DRYING METHOD AND DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01300525(A) 申请公布日期 1989.12.05
申请号 JP19880130102 申请日期 1988.05.30
申请人 HITACHI LTD 发明人 OTAKE MITSUYOSHI;WATANABE MASAHIRO;HAMANO MEGUMI
分类号 H01L21/304;F26B21/00 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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