发明名称 APPARATUS FOR GROWING SEMICONDUCTOR CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH01301585(A) 申请公布日期 1989.12.05
申请号 JP19880133965 申请日期 1988.05.30
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 KUME ICHIRO
分类号 C30B25/16;H01L21/205 主分类号 C30B25/16
代理机构 代理人
主权项
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