发明名称 APPARATUS FOR PRODUCING SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH01301580(A) 申请公布日期 1989.12.05
申请号 JP19880130364 申请日期 1988.05.30
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 ARAKI TAKASHI;SAWADA SHINICHI;TATSUMI MASAMI
分类号 C30B15/12;C30B27/02;H01L21/208 主分类号 C30B15/12
代理机构 代理人
主权项
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