发明名称 BOAT FOR LIQUID EPITAXIAL GROWTH
摘要
申请公布号 JPH01301582(A) 申请公布日期 1989.12.05
申请号 JP19880131919 申请日期 1988.05.30
申请人 FUJITSU LTD 发明人 NISHIYAMA SOICHI
分类号 C30B19/06;H01L21/208 主分类号 C30B19/06
代理机构 代理人
主权项
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