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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01300538(A) 申请公布日期 1989.12.05
申请号 JP19880131110 申请日期 1988.05.27
申请人 SEIKO INSTR INC 发明人 AIDA MASANORI
分类号 H01L21/3205;H01L23/52 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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