发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01298716(A) 申请公布日期 1989.12.01
申请号 JP19880128407 申请日期 1988.05.27
申请人 HITACHI LTD 发明人 JINGU KENJI;KANEKO KAZUO
分类号 H01L29/78;H01L21/265;H01L21/266;H01L21/336 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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