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经营范围
发明名称
PRODUCTION OF DEPOSITED FILM BY MICROWAVE PLASMA CVD
摘要
申请公布号
JPH01298173(A)
申请公布日期
1989.12.01
申请号
JP19880128219
申请日期
1988.05.27
申请人
CANON INC
发明人
MATSUDA KOICHI;SAITO KEISHI;OTOSHI HIROKAZU;OKAMURA TATSUJI
分类号
C23C16/50;C23C16/511
主分类号
C23C16/50
代理机构
代理人
主权项
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