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发明名称 DRY ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01298183(A) 申请公布日期 1989.12.01
申请号 JP19880129978 申请日期 1988.05.27
申请人 NEC CORP 发明人 SATOU FUMIHIDE
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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