| 发明名称 |
MULTIELECTRODE DISCHARGE CLEANING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01298632(A) |
申请公布日期 |
1989.12.01 |
| 申请号 |
JP19880128311 |
申请日期 |
1988.05.27 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KANBARA HIDEAKI;ITO AKIKO;UEDA SHINJIRO;AKIBA MASAKUNI |
| 分类号 |
C23C14/22;C23C14/00;H01J37/06;H01J37/30 |
主分类号 |
C23C14/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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