| 发明名称 |
FORMATION OF THIN FILM USING ION CYCLOTRON RESONANCE AND DEVICE THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01298174(A) |
申请公布日期 |
1989.12.01 |
| 申请号 |
JP19880128460 |
申请日期 |
1988.05.27 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
HIRABAYASHI KEIJI;TANIGUCHI YASUSHI;ITO SUSUMU;KURIHARA NORIKO;IKOMA KEIKO |
| 分类号 |
C30B23/08;B01J19/08;C23C16/50;C23C16/511 |
主分类号 |
C30B23/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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