| 发明名称 |
FORMATION OF THIN DIELECTRIC FILM AND DEVICE THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01298147(A) |
申请公布日期 |
1989.12.01 |
| 申请号 |
JP19880128452 |
申请日期 |
1988.05.27 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
TANIGUCHI YASUSHI;HIRABAYASHI KEIJI;IKOMA KEIKO;KURIHARA NORIKO;ITO SUSUMU |
| 分类号 |
B01J19/08;C03C17/22;C03C17/245;C23C14/06;C23C14/24 |
主分类号 |
B01J19/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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