发明名称 Nettoyage par bombardement ionique
摘要
申请公布号 FR1501165(A) 申请公布日期 1967.11.10
申请号 FR19660608091 申请日期 1966.11.20
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人
分类号 C23G5/00;H01J9/233;H01J37/34 主分类号 C23G5/00
代理机构 代理人
主权项
地址