发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01298766(A) 申请公布日期 1989.12.01
申请号 JP19880128357 申请日期 1988.05.27
申请人 HITACHI LTD;HITACHI TOBU SEMICONDUCTOR LTD 发明人 NARITA YUKIHIRO
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/8222;H01L27/06;H01L29/72;H01L29/732;H01L29/861 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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