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发明名称 PROCEDE DE FABRICATION D'ARTICLES PAR DEPOT EN PHASE VAPEUR D'UNE MATIERE A CONSTITUANTS MULTIPLES
摘要
申请公布号 FR2533944(B1) 申请公布日期 1989.12.01
申请号 FR19830015320 申请日期 1983.09.27
申请人 WESTERN ELECTRIC CY INC 发明人 ROBERT PANG HENG CHANG
分类号 H01L21/205;C23C14/00;C30B33/00;H01L21/31;(IPC1-7):C30B31/00;H01L21/22 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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