发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE OF THE SAME
摘要
申请公布号 JPH01298746(A) 申请公布日期 1989.12.01
申请号 JP19880128306 申请日期 1988.05.27
申请人 FUJITSU LTD 发明人 UENO KATSUNOBU
分类号 H01L21/3205;H01L21/768;H01L21/822;H01L23/522;H01L27/04 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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