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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH01298767(A) 申请公布日期 1989.12.01
申请号 JP19880129831 申请日期 1988.05.27
申请人 FUJITSU LTD 发明人 GOTO HIROSHI
分类号 H01L29/73;H01L21/28;H01L21/331;H01L21/76;H01L21/762;H01L27/12;H01L29/08;H01L29/43;H01L29/72 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
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