发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01298742(A) 申请公布日期 1989.12.01
申请号 JP19880128401 申请日期 1988.05.27
申请人 HITACHI LTD 发明人 TSUNEOKA MASATOSHI;TOKUNAGA TAKAFUMI
分类号 H01L21/3205;H01L21/28;H01L23/52;H01L29/43 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
地址