发明名称 PROCESS FOR VAPOR-PHASE SYNTHESIS OF DIAMOND
摘要 Un procédé économique et rapide de synthèse chimique en phase gazeuse (CVD) de diamants a une grande variété d'applications. Dans un mode de réalisation, on introduit dans un réacteur un mélange d'oxygène gazeux, d'un gaz composé contenant du carbone et éventuellement d'un gaz inerte, puis on y génère un plasma au moyen d'un champ électromagnétique afin de produire du diamant sur un matériau de base placé dans le réacteur. Dans un autre mode de réalisation, on introduit dans un réacteur au moins du fluor gazeux, du chlore gazeux, de l'oxyde d'azote gazeux ou du dioxyde de sulfure gazeux, un mélange de ceux-ci avec de l'oxygène gazeux et avec un gaz composé contenant du carbone, ou un mélange de ceux-ci avec un gaz inerte, puis on y génère un plasma au moyen d'un champ électromagnétique afin de produire du diamant sur un matériau de base placé dans le réacteur.
申请公布号 WO8911556(A1) 申请公布日期 1989.11.30
申请号 WO1989JP00531 申请日期 1989.05.25
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD. 发明人 TANABE, KEIICHIRO;IMAI, TAKAHIRO;FUJIMORI, NAOJI
分类号 C23C16/27;C30B25/02 主分类号 C23C16/27
代理机构 代理人
主权项
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