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发明名称 PLASMA VAPOR PHASE REACTION
摘要
申请公布号 JPH01296645(A) 申请公布日期 1989.11.30
申请号 JP19880127576 申请日期 1988.05.24
申请人 SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD 发明人 YAMAZAKI SHUNPEI
分类号 H01L21/768;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
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