发明名称 MANUFACTURE OF JOSEPHSON JUNCTION FILM
摘要
申请公布号 JPH01296681(A) 申请公布日期 1989.11.30
申请号 JP19880125913 申请日期 1988.05.25
申请人 AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL 发明人 HIDAKA MUTSUO
分类号 H01L39/24;C23C14/08;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/22 主分类号 H01L39/24
代理机构 代理人
主权项
地址