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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01297837(A) 申请公布日期 1989.11.30
申请号 JP19880127586 申请日期 1988.05.25
申请人 SONY CORP 发明人 NISHIHARA TOSHIYUKI
分类号 H01L21/76;H01L21/316;H01L29/78 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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