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经营范围
发明名称
FILM CARRIER
摘要
申请公布号
JPH01297832(A)
申请公布日期
1989.11.30
申请号
JP19880129283
申请日期
1988.05.25
申请人
IBIDEN CO LTD
发明人
FURUKAWA KAZUHIRO;KOMURA TOSHITAMI;NAMIKAWA YOSHIHIRO
分类号
H01L21/60
主分类号
H01L21/60
代理机构
代理人
主权项
地址
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