发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH01297842(A) 申请公布日期 1989.11.30
申请号 JP19880128749 申请日期 1988.05.26
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SUGAYA SHINJI;MOTOMURA ISAO
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
地址