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发明名称 PLASMA CVD DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01297818(A) 申请公布日期 1989.11.30
申请号 JP19880127638 申请日期 1988.05.25
申请人 NEC CORP 发明人 KANO TSUNEO
分类号 C23C16/50;H01L21/205;H01L21/31 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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